能量色散X射線熒光光譜具有如下優(yōu)點(diǎn)：
 

①儀器結(jié)構(gòu)簡單，省略了晶體的精密運(yùn)動裝置，也無需精度調(diào)整。還避免了晶體衍射所造成的強(qiáng)度損失。光源使用的X-射線管功率低，一般在100W以下，不需要昂貴的高壓發(fā)生器和冷卻系統(tǒng)，空氣冷卻即可，節(jié)省電力。

②能量色散型熒光光譜儀的光源、樣品、檢測器彼此靠得很近，X-射線的利用率很高，不需要光學(xué)聚集，在累積整個光譜時，對樣品位置變化不象波長色散型熒光光譜儀那樣敏感，對樣品形狀也無特殊要求。

③在能量色散型熒光光譜儀中，樣品發(fā)出的全部特征X-射線光子同時進(jìn)入檢測器，這就奠定了使用多道分析器和熒光屏同時累積和顯示全部能譜(包括背景)的基礎(chǔ)，也能清楚地表明背景和干擾線。因此，半導(dǎo)體檢測器X-射線光譜儀能比晶體X-射線光譜儀快而方便地完成定性分析工作。

④能量色散法的一個附帶優(yōu)點(diǎn)是測量整個分析線脈沖高度分布的積分程度，而不是峰頂強(qiáng)度。因此，減小了化學(xué)狀態(tài)引起的分析線波長的漂移影響。由于同時累積還減小了儀器的漂移影響，提高凈計數(shù)的統(tǒng)計精度，可迅速而方便地用各種方法處理光譜。同時累積觀察和測量所有元素，而不是按特定譜線分析特定元素。因此，見笑了偶然錯誤判斷某元素的可能性。